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- [发明专利]极紫外光源装置-CN202310163902.6在审
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邓海啸;杨涵翔
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中国科学院上海高等研究院
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2023-02-24
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2023-06-23
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H05G2/00
- 本发明涉及一种极紫外光源装置，包括种子激光发生器、电子源、电子直线加速器、第一调制段、第一色散段、第二调制段、第二色散段和放大器，电子源产生的第一电子束被电子直线加速器加速后形成第二电子束；种子激光发生器用于产生种子激光，其和第二电子束均注入第一调制段中，以使第二电子束产生第一次能量调制，得到第三电子束；第一色散段对第三电子束压缩，形成第四电子束；第二调制段使第四电子束产生相干辐射，并被相干辐射第二次能量调制而形成第五电子束；第二色散段对第五电子束压缩，形成第六电子束；放大器使第六电子束产生辐射并发出千瓦量级的极紫外光。本发明的极紫外光源装置，可产生平均功率千瓦量级的极紫外光，且结构紧凑。
- 紫外光源装置
- [发明专利]一种电子束系统-CN202011389634.2在审
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李帅
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聚束科技（北京）有限公司
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2020-12-02
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2022-03-29
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H01J37/147
- 本发明公开了一种电子束系统，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一控制电极，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第一控制电极之间，用于接收所述电子束作用于所述待测样品上产生的背散射电子。本发明第一控制电极改变电子源产生的电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向，使得设置于第一束导管和第一控制电极之间的第一探测器能够接收到纯的电子束作用于待测样品上产生的背散射电子。
- 一种电子束系统
- [发明专利]一种电子显微镜-CN202011393110.0在审
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李帅
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聚束科技（北京）有限公司
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2020-12-02
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2022-03-22
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H01J37/26
- 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于接收所述电子束作用于待测样品上产生的二次电子；控制电极，设置于所述第一探测器与所述电子束的光轴之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电子的运动方向。本发明提供的一种电子显微镜，能够探测到纯的电子束作用于待测样品上产生的二次电子。
- 一种电子显微镜
- [发明专利]电子束照射表面改性装置-CN200710127174.4有效
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和泉忠美
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沙迪克株式会社
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2007-07-04
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2008-01-09
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C21D1/06
- 一种电子束照射表面改性装置，提高工作效率。电子束照射表面改性装置(1)具有电子束产生室(25)、形成电子束产生室(25)并具有出射口(13a)的电子束壳体(10)、以及形成加工室(31)并具有入射口(30a)的加工壳体(30)。电子束壳体(10)和所述加工室壳体(30)分开构成，并且，具有连接脱离装置(50)，其以使设置在加工壳体(30)和电子束壳体(10)双方上的平行对置的连接面(10a、30d)接近或者脱离的方式、使电子束壳体(10)和/或加工壳体(30)移动，使得加工壳体(30)与所述电子束壳体(10)连接来借助出射口(13a)和入射口(30a)连通电子束产生室(25)和加工室(31)而形成密闭空间、且使加工壳体(30)脱离电子束壳体
- 电子束照射表面改性装置
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